真空闸板阀的工作原理

闸板阀中的密封面，相对于气体流路的垂直方向运动而实现气流封止，其构造类似于水库的闸门，故称闸板阀。由于密封面为平面，为承受大气压强，整体构造比较厚重，体积也比较大。闸板阀内部的滑动部分通过焊接波纹管实现超高真空中的直线驱动，密封多采用氟胶圈。而闸板阀本体的密封，考虑到高温烘烤，使用金属(In)丝密封。考虑到闸板阀两侧的压强差，闸板阀的安装有方向性，即密封面要朝向较高真空一侧。正规的闸板阀，在较高真空面通常会做一个三角形标志。真空腔体的连接，或者腔体和排气泵(分子泵、离子泵)的连接，多使用闸板阀。