气动三通隔膜阀检修工序如下：

1、关闭工作介质供应，并将气源系统压力释放至零。

2、使用合适的工具，将阀体上的连接螺母和垫片拆开，分离阀体和阀盖。

3、将阀盖上的气动执行器拆卸下来，并将气动执行器上的气动膜片拆卸下来进行检查。

4、检查阀体和阀盖上的密封面是否有磨损或损坏，如有必要，进行修整或更换。

5、拆卸阀体和阀盖上的阀瓣，检查阀瓣是否有磨损或损坏，如有必要，进行修整或更换。

6、检查阀体和阀盖上的阀座是否有磨损或损坏，如有必要，进行修整或更换。

7、清洗阀体和阀盖内部的零件，确保无杂物残留。

8、检查气动执行器上的气动膜片是否有破损或老化，如有必要，进行修整或更换。

9、维护并润滑阀体和阀盖上的各个运动部件，确保灵活可靠。

10、检查阀体和阀盖上的密封垫片是否有老化或损坏，如有必要，进行更换。

11、检查阀体和阀盖上的螺纹连接是否松动，如有必要，进行紧固。

12、组装阀体和阀盖，确保每个零件的安装正确，并按照规定的扭矩进行紧固。

13、安装气动执行器，并将气动膜片进行安装，确保安装正确。

14、进行漏水试验和操作试验，确保阀门正常工作。

15、清理工作区域，并将阀门重新投入使用。

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